原理について

原理

蛍光X 線分析法は、分析対象試料にX 線（１次X 線）を照射して含有元素の原子の内殻電子を励起し、励起された不安定な状態（内殻上に空孔が生じた状態）から安定状態に戻る時に発生するそれぞれの元素に固有の波長（エネルギー）を持ったX 線（蛍光X 線）を観測することによって、分析対象試料の含有元素を定性又は定量分析する方法です。

蛍光Ｘ線膜厚計の測定原理

1.測定対象物の表面にＸ線を照射します。

2.皮膜と下地の構成元素から、元素毎に異なるＸ線が発生し、表面から放出されます。

3.蛍光Ｘ線を検出器で検出し、皮膜と下地の成分が異なることを利用して分別します。

ここで、検出強度は、膜厚が厚いほど皮膜成分の検出強度が強く、下地成分の検出強度が弱くなります。

4.検出された強度に対応する膜厚を測定結果として出力します。

X線の発生について

X線管は電子を高電圧で加速し、金属の陽極に衝突させてX線を発生させる。

X線を取り出す窓は、一般的には、ベリリウム箔が用いられている。ターゲットには、タングステン、ロジウム、モリブデン、クロムなどが用いられている。これらのターゲットは、分析する元素によって使い分ける。分析目的元素と同種のターゲットをもつX線管は原則的に使用しない。

検量線について

濃度がわかっているサンプルを数点実際に測定することで、検量線を引き、測定したい元素の蛍光X線強度と濃度との間の関係を求めておき、その結果を元にして未知試料を測定して得られた蛍光X線強度から濃度を求める方法

測定値を目的物質の量に換算するために検量線を引きます。

主要部品

X線管球